【摘要】针对Pd-Ni合金薄膜氩气传感器的响应特性与零点稳定性受氧气氛影响的问题，分别用离子束溅射技术和原子层沉积技术制备了100nm Pd-Ni合金薄膜氢气敏感电阻和10nm Al2O3/SiO2/Al2O3复合隔离膜，并测试对比了有隔离膜和无隔离膜样品的氢敏响应特性和零点稳定性，分析了氧气氛影响氢敏特性与隔离膜阻氧透氢的机理。结果表明：复合隔离膜对灵敏度影响极小，起到了较好的透氢阻氧作用，大大改善了空气作为背景气体的氢敏响应特性和零点稳定性，但隔离膜对Pd-Ni合金薄膜氢气传感器的响应时间和恢复时间有负面影响。
【关键词】薄膜；氢气传感器；隔离膜；Pd-Ni合金；透氢；阻氧
【作者】谢贵久，张璐，季惠明，张浩
